空气净化工程的工作原理是:用风机将空气抽入机器,通过内置的滤网过滤空气,主要能够起到过滤粉尘、异味、有毒气体和杀灭部分细菌的作用。滤网又分:集尘滤网、去甲醛滤网、除臭滤网、HEPA滤网等。其中成本比较高的就是HEPA滤网,它能起到分解有毒气体和杀菌作用,特别是抑制二次污染。这类产品的特点是风机功能以及滤网的质量决定净化效果,机器的放置以及室内布局影响净化是否完全,室内净化效果不均衡,也难以完全,滤网更换费用较高。
空气净化工程在提高产品质量等方面有很明最的效果,据国外文献的报导,对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过耐压试验,在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散,100级洁净室中产品的性能分布集中,而且峰值出现在更高性能的地方。而在大气环境中的产品的性能极为分散,性能也极不稳定。可以看出,①有无空气净化,产品成品率有很大差别,②为了提高产品质量,不仅生产产品的环境需要洁净,而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行.
但是,和对待任何事物不能绝对化一样,对待空气洁净技术的作用也不能绝对化,不能把提高产品质量的作用完全归之于它。据国外材料分析,例如对于半导体元件部门,空气洁净技术在提高产品质量方面的作用大约在整个生产中占的比重为20%,而生产工艺自动化作用的比重占60%,其他因素占20%。当然,在已经解决了生产工艺的问题以后,空气净化就是主要矛盾,没有洁净的环境,则几乎是生产不出来的。