选择重庆地区洁净棚中的温湿度控制的要求

　洁净室的测试：打开盖或解除肩带罩让开口只有18英寸。 使用遮光罩的通风烟管、排放烟雾在这个开放。 这烟应该看到立即被吸入内部罩空间。不使用遮光罩如果烟被推，流或外面徘徊开幕。

　　1、过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：损坏了的过滤器、过滤器与其外框间的缝隙、过滤器装置的其他部位而侵入室内。

　　2、各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：各区间的压差正确、门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。

　　3、悬浮粒子浓度和微生物浓度：如果上述这些测试满足要求，则最后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量，以便验明其符合设计的技术条件。

　　4、室内气流控制：气流控制测试的类型要依气流模式——是紊流还是单向流而定。若气流为紊流，则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室，则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。

　　5、送风量与排风量：如果是紊流型，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流型，则要测量其风速。

　　6、隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净车间。

　　洁净棚的测试主要是为了确保其整体性能符合相关标准，以在使用中得到最好的发挥。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。