另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净棚的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
风机从FFU顶部将空气吸入,经初效过滤器,高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层,使洁净空气气流呈垂直单向流,从而保证了工作区内所要求的洁净度。
洁净棚是能快速组建的简易洁净室,其具有安装快速、施工周期短、价格低廉、移动方便等特点,把主要生产工序控制在较小的环境内也是洁净室设计的最佳选择。
1.框架:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘;
2.防静电垂帘:四周围用防静电垂帘(或亚克力板),防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;
3.风机滤网机组:,采用新加坡PCI离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级变速等特性,风机质量可靠,工作寿命长,加上独特的风道设计,大大提高了风机的效率、降低了噪声!内部净化级别可达100-100K级;特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域,如流水线作业区域。
4.内部采用净化室专用净化灯,不产尘;
1.可单独使用,也可组合使用。
2.与土建式或装配式百级洁净室相 比,投资少,见效快,安装简便,运行费用低。
3. 模块化结构,提高洁净度等级容易,扩展性强,且重复利用价值高
4.移动方便(可安装万向轮)