如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
⑴自净时间:是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟,可取15min计算)10,000级希望不超过30min(分钟,可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟,可取30min计算)
⑵换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5-55.3次/小时(规范:50次/小时)10,000级 23.8-28.6次/小时(规范:25次/小时)100,000级 14.4-19.2次/小时(规范:15次/小时)
FFU可模块化连接使用,使得FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。它为不同尺寸大小,不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中,即可提高洁净度级别,降低噪音和振动,也可大大降低造价,安装维护方便,是洁净环境的理想部件。
FFU特点: 1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*320,噪声52~56分贝;2.FFU箱体和高效过滤器采用分体式设计,安装,更换高效更方便; 3.风机采用德国emb直驱式离心风机或者国产铝叶轮离心风机,工作时间长达5万小时以上; 4.并具有节能、计算机集中控制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性; 5.FFU采用独特的风道风速均匀,整个出风面以0.45M/S风速均匀送出。 6.壳体可选用镜面不锈钢、覆铝锌板、冷板静电喷塑制做美观大方; FFU出厂前均按美国联邦标准(209E)用激光粒子计数器逐台扫描检测,确保质量;FFU适用于10~1000级无尘车间,便于整体运行集中控制; FFU适用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其它对空气中污染有严格控制要求的地方。以独特的优势合理的价格迅速占领市场。 高度低,系统设计时可节省气室空间。轻量化结构设计,可符合各厂家的 Grid 系统安装,更可依 Grid 系统,变更 FFU 结构尺寸设计。内部装置扩散板.风压扩散均匀,出风面风速平均稳定。金属结构顺风道内胆,永不老化.杜绝二次污染产生,表面光滑,风阻低.隔音效果优良。特殊入风口,风道设计,降低压损与噪音的产生。马达效率高,系统消耗电流低,节省能源成本。单相马达,提供三段式调速,可依实际状况调高或降低风速与风量。 1. 风机采用进口高效离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达5万小时或以上。 2. 特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。 3. 壳体结构选用不锈钢、铝合金、覆铝锌板、冷轧钢板材料制造,重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。 4. 产品出厂前均按美国联邦标准209E,METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测,确保质量。 温州升旭净化工程有限公司专业承接空气净化工程、手术室净化、GMP车间净化、实验室净化、无菌室净化、食品车间净化、层流手术室净化、厂房净化、药品车间等服务。
洁净厂房无尘室测试目的是什么呢?其中很大部分业主都是根据净化工程最初的设想来完成测试的指标,当然这是最直截了当的目标及方法,毕竟我们在建设无尘室的意愿也是如此,要达到我们的空气洁净度有需求。在单一流向型无尘室,风速测量的位置可由业主指定,一般是在滤网表面或是工作高度。但是需注明是滤网风速测量(滤网表面)或是无尘室室内风速测量(工作高度)。洁净厂房,无尘室,洁净室--洁净厂房无尘室测试目的。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
单一流向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。